シリコンウェーハのラッピングに使用される酸化アルミニウムの種類は何ですか

市場にはさまざまな種類の酸化アルミニウムがあり、さまざまな分野で使用されています。

シリコンウェーハのラッピングには通常、板状の白色焼成酸化アルミニウムを使用します。仕様は次のとおりです。

平均化学組成(代表値)             

Al ₂ O ₃                                                  ＞99.0%

SiO2 _＜                                                   0.2%

Fe2O3 ＜0.1%

Na2O _＜ 1%

物理的特性(代表的なAL )  

モース硬度 9.0

比重 ＞3.9g/ ^cm3

形状 板状

粒度分布