シリコンウェーハのラッピング用酸化アルミニウムのサイズ
市場にはさまざまな種類の酸化アルミニウムがあります。
製造技術により、焼成酸化アルミニウムと溶融酸化アルミニウムがあります。
結晶相により、α-酸化アルミニウムとβ-酸化アルミニウムが存在します。
では、シリコンウェーハのラッピングにはどのような酸化アルミニウムが使われているのでしょうか？
これは一種の白色板状焼成酸化アルミニウムであり、鄭州海秀研磨有限公司が長年にわたって生産しており、その品質は日本のフジミや米国のマイクログリットWCAと同様です。
haixu 研磨材が生産するサイズは次のとおりですか?
| サイズ | D0 | D3 | D50 | D94 |
| HX-PWA/WCA40 | <77.6 | 39-44.6 | 27.7-31.7 | 18-20 |
| HX-PWA/WCA35 | <64.2 | 35.4-39.8 | 23.8-27.2 | 15-17 |
| HX-PWA/WCA30 | <50.4 | 28.1～32.3 | 19.2～22.3 | 13.4-15.6 |
| HX-PWA/WCA25 | <40.1 | 24.4-28.2 | 16.1～18.7 | 9.6～11.2 |
| HX-PWA/WCA20 | <32.0 | 20.9-24.1 | 13.1～15.3 | 8.2～9.8 |
| HX-PWA/WCA15 | <25.2 | 14.8-17.2 | 9.4-11 | 5.8-6.8 |
| HX-PWA/WCA12 | <20.3 | 11.8-13.8 | 7.6-8.8 | 4.5-5.3 |
| HX-PWA/WCA09 | <16.3 | 8.9-10.5 | 5.9-6.9 | 3.3-3.9 |
| HX-PWA/WCA05 | <12.5 | 6.6-7.8 | 4.3-5.1 | 2.55-3.05 |
| HX-PWA/WCA03 | <10.0 | 4.8-5.6 | 2.8-3.4 | 1.5-2.1 |
その中で、HX-PWA/WCA09、HX-PWA/WCA12、HX-PWA/WCA15はシリコンウェーハのラッピングに広く使用されています。
