シリコンウェーハラッピング用PWAの仕様
PWA=血小板白色アルミナ
鄭州海秀研磨有限公司は 1999 年に設立されました。
2018 年から、サイズ PWA40 PWA35 PWA25 PWA20 PWA15 PWA12 PWA9 PWA5 PWA3 を含む薄板状白色アルミナの生産を開始しました。
シリコンウェーハラッピング用PWAの仕様は以下の通りです。
PSD(粒度分布)
| サイズ | dv-0 | dv-3 | dv-50 | dv-94 |
| MCA15 | <25.2 | 14.8-17.2 | 9.4-11 | 5.8-6.8 |
| MCA12 | <20.3 | 11.8-13.8 | 7.6-8.8 | 4.5-5.3 |
| MCA09 | <16.3 | 8.9-10.5 | 5.9-6.9 | 3.3-3.9 |
化学組成
| AL2OR3 | SiO2 | 鉄2O3 | まで2中 |
| >99.0 | <0.2 | <0.1 | <1 |
