中国製酸化アルミニウム粉砕インジウムリン化物(InP)ウェハの仕様

中国製酸化アルミニウム粉砕インジウムリン化物(InP)ウェハの仕様

近年、中国の工場では、ウェーハや半導体などの研磨・ラッピングに使用される酸化アルミニウムの研究と生産が始まった。

鄭州海旭研磨材有限公司は、富士電機のPWAに類似した酸化アルミニウムを製造する工場の1つです。

酸化アルミニウムの粉砕によるリン化インジウムウェハーの研磨
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現在、当社では酸化アルミニウムの研削・ラッピング加工を施したリン化インジウム(InP)ウェハーを継続的にご利用いただいているお客様がいらっしゃいます。

リン化インジウム(InP)ウェハーの研磨に使用する当社の酸化アルミニウムの仕様は以下のとおりです。

 化学組成%            

Al2O3>99.0%
SiO₂<0.2%
Fe2O3<0.1%
Na2O<1%

物理的性質

モース硬度9.0
比重>3.9g/ cm3
プレート型

PSD(粒子径分布)試験結果

酸化アルミニウムA12
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