FO 1000メッシュ研磨粉のTDS
製品：FO サイズ：1000メッシュ
FOは、研削・ラッピング用粉末の一種で、高精度のアルミナ系研磨粉末であり、特に半導体デバイスやシリコンウェハーの精密ラッピングや表面仕上げ用に設計されています。
平均化学組成（代表値）
| サイズ | 比重（g/cm³） | 化学組成（％） | ||||
| Al2O3 | SiO2 | Fe2O3 | 二酸化チタン | ZrO2 | ||
| 1000メッシュ | ≥3.90 | ≥45.0 | ≤20.0 | ≤0.5 | ≤2.0 | ≤33.0 |
粒子径分布
| サイズ | D0 | D3 | D50 | D94 |
| 1000メッシュ | ≤27.0 | ≤23.0 | 9.4±0.8 | ≥5.0 |
主な用途
半導体ウェハ、シリコンウェハなどの研削および研磨
各種光学ガラスの表面仕上げ
レンズ、プリズム、ミラー、フィルターなどの研削および研磨
圧電材料の表面仕上げ
光ファイバーフェルール、ラッピングフィルム
–アルミナおよび窒化アルミニウム基板、半導体セラミック部品
–ウェハー薄化および両面研削
…
パッケージ
10kg入りPVCバッグ＋パレット
