市場にはさまざまな種類の酸化アルミニウムがあり、さまざまな分野で使用されています。
シリコンウェーハのラッピングには通常、板状の白色焼成酸化アルミニウムを使用します。仕様は次のとおりです。
平均化学組成(代表値)
Al 2 O 3 ＞99.0%
SiO2 ＜ 0.2%
Fe2O3 ＜0.1%
Na2O ＜ 1%
物理的特性(代表的なAL )
モース硬度 9.0
比重 ＞3.9g/ cm3
形状 板状
粒度分布
| サイズ | D0 | D3 | D50 | D94 |
| 体重/WCA40 | <77.6 | 39-44.6 | 27.7-31.7 | 18-20 |
| PWA/WCA35 | <64.2 | 35.4-39.8 | 23.8-27.2 | 15-17 |
| 体重/WCA30 | <50.4 | 28.1～32.3 | 19.2～22.3 | 13.4-15.6 |
| PWA/WCA25 | <40.1 | 24.4-28.2 | 16.1～18.7 | 9.6～11.2 |
| 体重/WCA20 | <32.0 | 20.9-24.1 | 13.1～15.3 | 8.2～9.8 |
| 体重/WCA15 | <25.2 | 14.8-17.2 | 9.4-11 | 5.8-6.8 |
| 体重/WCA12 | <20.3 | 11.8-13.8 | 7.6-8.8 | 4.5-5.3 |
| PWA/WCA09 | <16.3 | 8.9-10.5 | 5.9-6.9 | 3.3-3.9 |
| PWA/WCA05 | <12.5 | 6.6-7.8 | 4.3-5.1 | 2.55～3.05 |
| PWA/WCA03 | <10.0 | 4.8-5.6 | 2.8-3.4 | 1.5-2.1 |
